出版物紹介

機械

ナノ加工技術ハンドブック　Handook of Nanofabrication

著者：ナノ加工技術ハンドブック編集委員会
B5、並製本、470頁
4,400円（本体価格4,000円＋税）
978-4-909933-97-3　C3053

内容要旨

目次
1章　微細加工技術
2章　ナノ加工の基礎（プロセス科学と装置）
3章　ナノ構造形成技術
4章　ナノ構造評価・計測
5章　ナノ加工のデバイス応用
技術資料
索引
<執筆者＞
麻畑達也　　（株）日立ハイテク（3章3. 1）
伊藤高臣　　（株）エリオニクス（2章5）
上野貢生　　北海道大学（3章8，5章7. 4）
遠藤政孝　　 Eリソリサーチ（1章2）
小川真一　　産業技術総合研究所（4章5）
古澤孝弘　　大阪大学（3章2. 2）
小寺正敏　　大阪工業大学（2章3）
米谷玲皇　　東京大学（3章3. 2，5章6）
齋藤　彰　　大阪大学・理研SPring-8 （5章8. 2）
寒川誠二　　國立陽明交通大学（1章3）
島　政英　　日本電子（株）（4章3）
白井正充　　大阪公立大学（1章5）
杉岡幸次　　理化学研究所（1章4）
杉村博之　　京都大学（3章5）
杉山安彦　　（株）日立ハイテク（2章6）
髙原淳一　　大阪大学（5章5）
竹中幹人　　京都大学（3章6. 1）
田尻武義　　電気通信大学（5章4）
多持隆一郎　（株）日立ハイテク（4章2）
谷口　淳　　東京理科大学（3章6. 3，4章1）
谷口正輝　　大阪大学（5章7. 1，5章7. 2）
豊田紀章　　兵庫県立大学（3章7）
中川　勝　　東北大学（3章1，3章4. 2）
平井義彦　　大阪公立大学（1章1，3章4. 1）
不動寺浩　　物質・材料研究機構（3章6. 2）
細見拓郎　　東京大学（5章7. 3）
真島　豊　　東京科学大学（5章2）
松井真二　　兵庫県立大学（2章4，5章1）
松本卓也　　大阪大学（4章6）
水田　博　　北陸先端科学大学院大学（5章3）
宮内昭浩　　東京科学大学（5章8. 1）
宮本恭幸　　東京科学大学（3章2. 1）
安田雅昭　　大阪公立大学（2章1，2章2，3章2. 3）
柳田　剛　　東京大学（5章7. 3）
山田恵三　　（株）ホロン（4章4）

様々な物質をナノサイズに加工する「ナノ加工技術」は，先端半導体，光デバイス，バイオデバイス，量子デバイス等の動作原理に関わるナノテクノロジーを具現化し、産業化するために必要不可欠な技術です．その方法は，光，電子線，イオン線，X 線など広義の放射線を利用するものや，化学反応を利用することにより，分子，原子レベルで，切る，曲げる，つなぐ，磨くなどの加工を施すものです．本書では．我が国の先端ナノ加工の最先端でご活躍の先生，第一線で活躍されているエンジニアの方々から玉稿を頂戴することで、ナノ加工技術の基本的な原理の理解と応用について理解を深めます。また、技術の伝承も目的に編纂したものです。本書が多様なナノデバイスに適したナノ加工技術の選択と高精度化を進める指針となり，高精度・高性能のナノデバイス作製の一助となることを期待するとともに、次世代の研究者の座右の書となることを願っています．

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